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Rauheitsmessungen mit hoher Präzision

Rauheitsmessungen mit hoher Präzision

Der IFS2407-0,1 von Micro-Epsilon ist ein konfokaler Sensor mit einem Messbereich von nur 100 µm und einer hohen Auflösung von 3 nm. So kann er transparente Schichten bereits ab 5 µm hochgenau erfassen.

Dazu weist der Sensor einen großen Verkippungswinkel auf. Dieser ergibt sich durch die numerische Apertur, dem Grad der Bündelung der Lichtstrahlen in diesem optischen System, die einen Wert von NA 0,8 bzw. NA 0,7 erreicht. Zusammen mit dem kleinen Lichtpunktdurchmesser können feinste Strukturen erfasst und Rauheitsmessungen durchgeführt werden. Etwa fein gehonte Oberflächen wie Bremsscheiben, deren Strukturen für das menschliche Auge eher wie glatt polierte Flächen wirken, können mit diesem Sensor überprüft werden. Es gibt ihn in zwei Varianten: Die Standardvariante mit NA 0,8 für hochpräzise Messungen bei Rauheit und dünnen Schichten, sowie die lichtstarke Option mit NA 0,7 für schnelle Messungen mit kurzer Belichtungszeit und für dunkle Oberflächen.

 

Bild- und Textquelle: Micro-Epsilon

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