Die neuen Weißlicht-Interferometer werden für genaue Schichtdickenmessungen von 1 bis 100 µm eingesetzt. Mit einer Messrate von bis zu 24 kHz eignen sie sich auch für dynamische Messaufgaben.
Das neue Weißlicht-Interferometer IMS5200-TH von Micro-Epsilon ist für schnelle, hochpräzise Inline-Messungen konzipiert. Es misst genau Schichtdicken von 1 bis 100 µm mit einer Linearität von <± 100 nm. Darüber hinaus ist die Multi-Peak-Messung von bis zu fünf dünnen Schichten möglich. Die Messrate lässt sich stufenlos von 100 Hz bis 24 kHz einstellen. Dabei ist es dank hinterlegter Materialauswahlliste flexibel im Einsatz. Ein gesondertes Einlernen des Materials ist nicht notwendig. Sensor und Controller werden werkseitig aufeinander abgestimmt und kalibriert, dadurch sind nanometergenaue Luftspalt- und Schichtdickenmessungen möglich. Wegen des kompakten und robusten Aufbaus, kombiniert mit einem großen Arbeitsbereich von ± 2 mm, lässt sich der Sensor einfach auch in beengte Fertigungslinien integrieren. Der Controller wird über eine Hutschiene im Schaltschrank montiert. Für eine nahtlose Netzwerk-Einbindung bietet Micro-Epsilon Ethernet, EtherCAT und RS422 sowie Encoderanschlüsse und digitale I/Os.
Text- und Bildquelle: Micro-Epsilon
