Das Weißlicht-Interferometer IMS5420-TH von Mico-Epsilon eröffnet neue Perspektiven in der industriellen Dickenmessung von monokristallinen Silizium-Wafern. Dank der breitbandigen Superlumineszenzdiode (SLED) kann es für undotierte, dotierte und hochdotierte Silizium-Wafer eingesetzt werden.