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Interferometer

Inline-Messung dünner Schichten

Die neuen Weißlicht-Interferometer werden für genaue Schichtdickenmessungen von 1 bis 100 µm eingesetzt. Mit einer Messrate von bis zu 24 kHz eignen sie sich auch für dynamische Messaufgaben.

Interferometer

Präzise Wafer-Dickenmessung

Das Weißlicht-Interferometer IMS5420-TH von Mico-Epsilon eröffnet neue Perspektiven in der industriellen Dickenmessung von monokristallinen Silizium-Wafern. Dank der breitbandigen Superlumineszenzdiode (SLED) kann es für undotierte, dotierte und hochdotierte Silizium-Wafer eingesetzt werden.

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Leistungsstarke Sensorik senkt Kosten und steigert Qualität

Damit sich der Roboter zurechtfindet

Beim Einsatz von Robotern in industriellen Produktionsprozessen spielen Sensoren eine zentrale Rolle. Die Sensoren ermöglichen, dass Roboter ihre Umgebung wahrnehmen und sich im Raum orientieren können. Dadurch sind Roboter in der Lage, Arbeitsschritte präzise auszuführen.

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Mikromechatronik- Zentrum eröffnet

Micro-Epsilon hat ein Produktionszentrum für Mikromechatronik eröffnet. Dort werden miniaturisierte mechatronische Systeme für den Halbleitermaschinenbau und Aerospace-Anwendungen gefertigt.

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